Analyseur d’eau ultrapure en ligne Sievers Boron Ultra
Contrôle continu et en ligne du bore jusqu'à des niveaux de parties par billion (ppt)
À mesure que les puces semi-conductrices rétrécissent et deviennent plus complexes, la demande en eau extrapure (UPW) de haute qualité est essentielle. La moindre contamination peut provoquer des défauts importants, ce qui rend la détection précoce des impuretés essentielle dans la fabrication des composants microélectroniques.
Quels sont les risques ? Le rendement du produit, les processus en aval et les coûts inutiles.
L’analyseur Boron Ultra de Sievers assure une surveillance en ligne continue et automatisée des concentrations de bore dans les procédés d’eau ultrapure avec une sensibilité de l’ordre de quelques parties par billion (ppt). Cela permet de respecter les spécifications des boucles primaires et de polissage, et permet aux fabricants d'optimiser le moment où le lit de résine échangeuse d'ions (IX) est renouvelé. La surveillance du bore est la stratégie de contrôle de processus IX la plus proactive et est de loin supérieure à la surveillance de la silice ou de la contamination ionique.
Performance en ligne et optimisation des processus
L’analyseur Boron Ultra de Sievers permet de réduire considérablement les coûts d’exploitation et de maintenir la qualité des systèmes d’eau ultrapure.
Boron Ultra détecte une augmentation de bore avant la libération de silice, ce qui en fait un outil essentiel pour prévenir la fuite de silice colloïdale et ionique dans l’eau extrapure. Il est utilisé pour prédire l’épuisement de la résine IX sur lit mixte, optimiser les performances d’électrodésionisation (EDI) et contrôler les niveaux de contamination de la boucle primaire et de la boucle de polissage.
Boron Ultra est conforme à la limite de 50 ppt de bore fixée par l'International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) dans l'eau ultrapure des semi-conducteurs, ce qui permet de contrôler la contamination par le bore et la silice.
Le Boron Ultra de Sievers a été conçu en collaboration avec des fabricants de semi-conducteurs pour répondre aux besoins des gestionnaires d’installations, des propriétaires de systèmes d’eau ultrapure et des ingénieurs en contrôle de processus d’eau ultrapure. La surveillance du bore est la stratégie de contrôle du processus d’échange d’ions la plus proactive et est de loin supérieure à la surveillance de la silice ou de la contamination ionique.
- Sensibilité en parties par billion (ppt)
- 20 points de données par heure
- Conformité aux spécifications de la boucle primaire et de la boucle de polissage
- Optimisation de la régénération de la résine échangeuse d’ions
- Contrôle de la contamination par la silice et le bore