Veolia Water Technologies & Solutions

Analyseur d’eau ultrapure en ligne Sievers Boron Ultra

Contrôle continu et en ligne du bore jusqu'à des niveaux de parties par billion (ppt)

À mesure que les puces semi-conductrices rétrécissent et deviennent plus complexes, la demande en eau extrapure (UPW) de haute qualité est essentielle. La moindre contamination peut provoquer des défauts importants, ce qui rend la détection précoce des impuretés essentielle dans la fabrication des composants microélectroniques.

Quels sont les risques ? Le rendement du produit, les processus en aval et les coûts inutiles.

L’analyseur Boron Ultra de Sievers assure une surveillance en ligne continue et automatisée des concentrations de bore dans les procédés d’eau ultrapure avec une sensibilité de l’ordre de quelques parties par billion (ppt). Cela permet de respecter les spécifications des boucles primaires et de polissage, et permet aux fabricants d'optimiser le moment où le lit de résine échangeuse d'ions (IX) est renouvelé. La surveillance du bore est la stratégie de contrôle de processus IX la plus proactive et est de loin supérieure à la surveillance de la silice ou de la contamination ionique.

 

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Performance en ligne et optimisation des processus

L’analyseur Boron Ultra de Sievers permet de réduire considérablement les coûts d’exploitation et de maintenir la qualité des systèmes d’eau ultrapure.

Boron Ultra détecte une augmentation de bore avant la libération de silice, ce qui en fait un outil essentiel pour prévenir la fuite de silice colloïdale et ionique dans l’eau extrapure. Il est utilisé pour prédire l’épuisement de la résine IX sur lit mixte, optimiser les performances d’électrodésionisation (EDI) et contrôler les niveaux de contamination de la boucle primaire et de la boucle de polissage.

Boron Ultra est conforme à la limite de 50 ppt de bore fixée par l'International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) dans l'eau ultrapure des semi-conducteurs, ce qui permet de contrôler la contamination par le bore et la silice.

Le Boron Ultra de Sievers a été conçu en collaboration avec des fabricants de semi-conducteurs pour répondre aux besoins des gestionnaires d’installations, des propriétaires de systèmes d’eau ultrapure et des ingénieurs en contrôle de processus d’eau ultrapure. La surveillance du bore est la stratégie de contrôle du processus d’échange d’ions la plus proactive et est de loin supérieure à la surveillance de la silice ou de la contamination ionique.

  • Sensibilité en parties par billion (ppt)
  • 20 points de données par heure
  • Conformité aux spécifications de la boucle primaire et de la boucle de polissage
  • Optimisation de la régénération de la résine échangeuse d’ions
  • Contrôle de la contamination par la silice et le bore

Caractéristiques et avantages

Caractéristiques et avantages du Boron Ultra

  • Surveillance continue en ligne jusqu'à une simple partie par billion (ppt) de bore
  • 20 points de données par heure
  • Conformité aux spécifications de la boucle primaire et de la boucle de polissage
  • Conforme à toutes les exigences de l'UKCA et du marquage CE
  • Options multi-flux - disponibles en un flux et deux flux
  • Interface graphique moderne et intuitive avec écran tactile multicolore rétroéclairé par LED de 10,1 pouces
  • Vaste gamme de sorties - deux sorties analogiques isolées 4-20 mA ; deux sorties d’alarme ; deux sorties binaires isolées ; deux ports USB 2.0 ; et un port Gigabit Ethernet
  • Coûts d'entretien et de consommables

Applications - Eaux de process ulrapure pour semi-conducteurs et microélectronique / eau ultrapure

  • Contrôle de la contamination
  • Conformité
  • Optimisation de la régénération de la résine
  • Contrôle des processus

Caractéristiques

Caractéristiques du Boron Ultra

Caractéristiques d'exploitation

Amplitude 0.010 - 100 ppb B
Limite de quantification (LOQ) 0,030 ppb de B  
Limite de détection (LOD) 0,010 ppb de B
Exactitude ± 0,01 ppb de B <0,03 ppb de B
± 15 %, ≥ 0,03 ppb B
Précision SD ≤ 0,003 ppb B, ≤ 0,100 ppb B RSD ≤ 3 %, > 0,100 ppb B
Échantillon minimal
Résistivité

15 MΩ - cm

Température de l'échantillon 15 °C à 40 °C (59 à 104 °F)
Débit d'écoulement de l'échantillon 50 à 400 mL/min
Pression de l'échantillon 103 à 689 kPa (15 à 100 psig)
Stabilité de calibration En général 12 mois
Particules de l'échantillon Préfiltration de 15 microns
Déchet Drain par gravité (pas de contre-pression), ventilé
Modes d'analyse En ligne, moyenné et chronométré en ligne
Temps d’analyse1 3 minutes ou 6 minutes

Caractéristiques de l'analyseur

Énergie requise 100 à 240 V c.a., 40 W,4, 50/60 Hz
Certifications de sécurité Homologué CE, UKCA, ETL. Conforme à la norme UL 61010-1. Certifié CSA 22.2 n° 61010-1.
Affichage

Écran 1280 x 800 rétroéclairé par LED, 10,1 pouces, avec écran tactile

Classement IP IP 45
Entrées 3 entrées binaires isolées
Sorties 2 sorties analogiques isolées 4-20 mA5 ; 2 sorties d’alarme ; 2 sorties binaires isolées ; 2 ports USB 2.06 (un externe, un interne) ; Port Ethernet 1 Gigabit ;
Protocoles de communication Modbus TCP/IP
Surtension transitoire Installation (surtension) Catégorie II (degré de pollution de l’environnement de l’instrument 2 supposé aux fins de l’essai et de l’évaluation de l’intégrité de l’isolation)
Dimensions  54,2 H x 59,3 L x 38,8 P cm (21,35 H x 23,35 L x 15,27 P po)
Poids Vide : 21,75 kg (48 lb) ; Avec consommables : 23,1 kg (51 lb)
Dégagements minimums (pour la température, le contrôle de l’humidité et l’accès) Avant : 48,3 cm (19 po) ; Arrière : 2,5 cm (1 po) ; Côtés : 30,5 cm (12 po) de chaque côté ; Dessus : 30,5 cm (12 po) ; En bas : Les supports d’analyseurs offrent un dégagement pour le bureau.
Configurations disponibles À un ou deux flux (en option)
Température ambiante 10 à 40 °C (50 à 104 °F)
Altitude  Conçu pour une utilisation à des altitudes allant jusqu’à 2000 m (6561 pi)
Humidité relative maximum Jusqu'à 95%, sans condensation

Consommables

Réactif Boron

45 jours à une fréquence d’échantillonnage de 3 minutes8 ; 90 jours à une fréquence d’échantillonnage de 6 minutes8

Colonne de réactif 12 mois
Colonne zéro 12 mois
Tête de pompe péristaltique 12 mois