Veolia Water Technologies & Solutions

Garantir un rendement en eau élevé dans l’usine de semi-conducteurs

Challenge

L’eau est au cœur même de la fabrication des semi-conducteurs. Ce fabricant de plaquettes au Texas avait besoin de s'assurer qu'il travaillerait avec un produit d’eau extrapure extrêmement constant avec une résistivité de 18 mégohm-cm. Ils avaient besoin de savoir qu’ils disposeraient d’une performance fiable en eau extrapure ininterrompue pendant 24 heures par jour afin de garantir les rendements élevés en plaquettes nécessaires pour rester compétitifs dans l’industrie des semi-conducteurs d’aujourd’hui.

Solution

Éliminer les régénérants chimiques grâce à l’EDI de Veolia

fig1

 

L’EDI de Veolia (Figure 1) est l’élément clé de la production d’eau extrapure pour la fabrication de plaquettes dans cette installation de 700 gallons par minute, pensée, construite et entretenue par Veolia. Le client bénéficie d’une performance fiable de 24 heures par jour et ininterrompue : pas d’excuses, pas de soucis de perte de productivité. Comme le procédé EDI de Veolia se régénère électriquement, il ne nécessite aucun régénérant acide ou caustique. L’EDI de Veolia élimine plus de 99 % de la charge minérale de l’eau prétraitée par OI, y compris le bore de silice et le CO2, et fournit une eau traitée d’une pureté exceptionnelle.

La déminéralisation à l’électricité, et non avec des produits chimiques, est un réel avantage pour cet utilisateur final, car le processus ne produit aucun déchet régénérant et n’a pas les tracas associés à l’élimination des déchets. De plus, le système n’occupe que 20 % de l’espace au sol requis pour un système désionisé (DI) conventionnel.

La marque Veolia est synonyme de qualité sur laquelle vous pouvez compter. Veolia fait attention à tous les détails, de la tuyauterie en PVDF au service local pratique. La partie droite résume le projet.

Résumé du projet

Emplacement : Centre du Texas

Mise en service : 1997 février

Application : Eau extrapure pour la fabrication de l’eau

Source d’eau d'alimentation : eau municipale de la ville de Sherman traitée avec les EDR de Veolia

Qualité de l’eau d'alimentation : 10 à 15 μS/cm

Qualité du produit : 18 mégaohm-cm de résistivité

Capacité : 700 gallons par minute (2,7 m3/h)

Technologie : Osmose inverse (OI) et électrodésionisation (EDI)